NanoScan OP400纳米定位压电物镜扫描仪

Datasheets

NanoScan OP400纳米定位压电物镜扫描仪提供了市面上所有物镜定位器中最快的步进和稳定时间。借助电容式反馈传感器,它还拥有市场领先的定位精度和分辨率。该系统可兼容大多数显微镜和物镜,且针对不同的物镜尺寸、重量以及性能需要优化了用户可配置设置。用户只需选择适合其应用的最佳设置即可。

主要特点

  • 400μm闭环行程范围(480μm开环范围)
  • 电容式定位传感器亚纳米定位分辨率和可重复性
  • 不锈钢材质可提供更高的机械刚性(更快)和温度稳定性(漂移最小)。
  • 该平台是柔性铰链导向的系统。无摩擦的柔性铰链设计旨在提供高刚性并最大限度的减少离轴运动,从而获得高可重复性和更短的循环时间。
  • 适用于正置和倒置应用。
  • 连接器内置载物台校准数据,实现了平台的即插即用,最大限度的缩短系统停机时间。
  • 即使负载较大物镜,也能快速稳定。经过超过1000万个全量程循环的运行测试
  • 光学扫描生成3D成像
  • 用于延时成像的自动对焦系统
  • 高内涵筛选
  • 表面分析
  • 晶圆检验
  • 扫描干涉测量