Prior Scientific的电动往复式载物台是为晶圆检验设计的，可使用尼康或奥林巴斯晶圆操作系统。该载物台大大减少了操作者的错误和疲劳，同时提高了晶圆检验的速度。
H116SPN可自动装载和卸载晶圆。在运行时，往复系统能够自动移动到正确的装载位置，并激活装载机开关，通知装载机晶圆卡盘已准备就绪，可以接收晶圆。晶圆转移完成后往复系统后收回，即可开始检验。该载物台允许使用操纵杆进行手动检查，或者在预编程模式下进行全自动检查。
H116SPN的行程范围大，并具有卓越的重复性和分辨率，与Prior的ProScan® III系统配合使用，可确保精准度、精确性、最小误差，并基本实现更高效的晶圆检测过程。
