晶圆操作载物台

Datasheets

Prior Scientific的电动往复式载物台是为晶圆检验设计的,可使用尼康或奥林巴斯晶圆操作系统。该载物台大大减少了操作者的错误和疲劳,同时提高了晶圆检验的速度。

H116SPN可自动装载和卸载晶圆。在运行时,往复系统能够自动移动到正确的装载位置,并激活装载机开关,通知装载机晶圆卡盘已准备就绪,可以接收晶圆。晶圆转移完成后往复系统后收回,即可开始检验。该载物台允许使用操纵杆进行手动检查,或者在预编程模式下进行全自动检查。

H116 SPN的行程范围大,并具有卓越的重复性和分辨率,与Prior的ProScan® III系统配合使用,可确保精准度、精确性、最小误差,并基本实现更高效的晶圆检测过程。

•行程范围为250 x 210 mm

分辨率为0.04μm

•重复性±0.2μm

•自动装载和卸载晶圆

•兼容ProScan III系统,以及尼康和奥林巴斯晶圆操作系统。