H116载物台适用于大多数大型显微镜，并且可以轻松容纳8英寸（200毫米）的晶圆和各种大型标本，非常适合扫描各种半导体晶圆、光掩膜、平板显示器以及印刷电路板。
| um | um | mm/s | mm | kg | mm | SPR ** | um res | |
| 单向重复精度 * | 最小步长 | 推荐速度 | 最大行程范围 | 载重 | 滚珠丝杆螺距 | 电机类型 | 编码器 | |
| H116ARNN | +/- 0.7 | 0.04 | 40 | 255 X 215 | 7.7 | 2 | 200 | 否 |
| H116ARN1 | +/- 0.7 | 0.1 | 40 | 255 X 215 | 7.7 | 2 | 200 | 0.1 |
| H116BRNN | +/- 0.7 | 0.1 | 40 | 255 X 215 | 7.7 | 5 | 200 | 否 |
| H116BRN2 | +/- 0.7 | 0.5 | 40 | 255 X 215 | 7.7 | 5 | 200 | 0.1 |
需要使用Prior ProScanTM II或更高版本的控制器，并且基于Prior的检测方法。
*使用启用了反弹修正的ProScanTM控制器，所有重复性均为单向。
** S.P.R：电机每旋转一圈的全步长。
