255 x 215 mm行程步进电机XY载物台

Datasheets

H116载物台适用于大多数大型显微镜,并且可以轻松容纳8英寸(200毫米)的晶圆和各种大型标本,非常适合扫描各种半导体晶圆、光掩膜、平板显示器以及印刷电路板。

um um mm/s mm kg mm SPR ** um res
单向重复精度 * 最小步长 推荐速度 最大行程范围 载重 滚珠丝杆螺距 电机类型 编码器
H116ARNN +/- 0.7 0.04 40 255 X 215 7.7 2 200
H116ARN1 +/- 0.7 0.1 40 255 X 215 7.7 2 200 0.1
H116BRNN +/- 0.7 0.1 40 255 X 215 7.7 5 200
H116BRN2 +/- 0.7 0.5 40 255 X 215 7.7 5 200 0.1

需要使用Prior ProScanTM II或更高版本的控制器,并且基于Prior的检测方法。
*使用启用了反弹修正的ProScanTM控制器,所有重复性均为单向。
** S.P.R:电机每旋转一圈的全步长。

  • 适用于大多数主流品牌显微镜。
  • 1μm甚至更高的重复精度
  • 安静、可靠
  • 多种晶圆支架。
  • 255mm x 215mm(10“x8.5”)行程