302 x 302 mm行程步进电机XY载物台

Datasheets

H112载物台非常适合扫描各种半导体晶圆、光掩膜、平板显示器以及印刷电路板。H112可轻松容纳12英寸(300毫米)晶圆,并可与各种晶圆装载机械臂配合使用。另外,H112可用于250 mm x 250 mm透射区域的透射光应用。

um um mm/s mm kg mm SPR ** um res
单向重复精度* 最小步长 推荐速度 最大行程范围 载重 滚珠丝杆螺距 电机类型 编码器
H112ARNN +/- 0.7 0.04 40 302 X 302 14.5 2mm 200
H112ARN1 +/- 0.7 0.01 40 302 X 302 14.5 2mm 200 0.1
H112BRNN +/- 0.7 0.1 40 302 X 302 14.5 5mm 200
H112BRN2 +/- 0.7 0.5 40 302 X 302 14.5 5mm 200 0.5

需要使用Prior ProScanTM II或更高版本的控制器,并且基于Prior的检测方法。
*使用启用了反弹修正的ProScanTM控制器,所有重复性均为单向。
** S.P.R:电机每旋转一圈的全步长。

  • 适用于大多数主流品牌显微镜。
  • 1μm甚至更高的重复精度
  • 可选的100nm线性标尺可提供最高的分辨率。
  • 多种晶圆支架
  • 302毫米x 302毫米(12″x12″)行程