154 x 154mm行程平面步进电机载物台

H105-F是精密设计的ProScan®载物台之一,适用于大多数正置显微镜。它具有较大的行程范围,可以容纳半导体晶圆、光掩膜和印刷电路板等大型样品,使其成为材料科学应用的理想选择。可替换的样品架使得该滑块可用于各种应用。H105N2F具有高分辨率和出色的重复性,是高端材料科学应用的理想选择。

重复性:
■±0.7μm的重复性,具有位点存储的能力供以后检查和分析。
■<1μm的分辨率。
■集成了IST和载物台测绘系统。
■带有可调限位开关的防反冲机制。
■接受线性编码器,进一步提高准确性。
多功能性:
■通过ProScan® III控制系统进行控制。

Documents:

H105 Flat Top Stage Datasheet

Drawings:

H105E2F SLDASM Model
H105E2F IGES Model
H105N2F SLDASM Model
H105N2F IGES Model