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H105特别适合用于涉及大型试样的典型应用，例如，进行各种半导体晶片、光掩膜及印刷电路板的扫描。H105可轻松容纳6英寸晶圆，同时其可完全映射以提高度量精度。
| um | um | mm/s | mm | kg | mm | SPR ** | um res | |
| 单向重复精度 * | 最小步长 | 推荐速度 | 最大行程范围 | 载重 | 滚珠丝杆螺距 | 电机类型 | 编码器 | |
| H105/2 ## | +/- 0.7 | 0.04 | 24 | 154 x 154 | 5 | 2 | 200 | 否 |
| HE05/2 ## | +/- 0.7 | 0.04 | 24 | 154 x 154 | 5 | 2 | 200 | 0.1 |
需要使用Prior ProScanTM II或更高版本的控制器，并且基于Prior的检测方法。
*使用启用了反弹修正的ProScanTM控制器，所有重复性均为单向。
** S.P.R：电机每旋转一圈的全步长。
