154 x 154 mm行程步进电机XY载物台

Datasheets

H105特别适合用于涉及大型试样的典型应用,例如,进行各种半导体晶片、光掩膜及印刷电路板的扫描。H105可轻松容纳6英寸晶圆,同时其可完全映射以提高度量精度。

um um mm/s mm kg mm SPR ** um res
单向重复精度 * 最小步长 推荐速度 最大行程范围 载重 滚珠丝杆螺距 电机类型 编码器
H105/2 ## +/- 0.7 0.04 24 154 x 154 5 2 200
HE05/2 ## +/- 0.7 0.04 24 154 x 154 5 2 200 0.1

需要使用Prior ProScanTM II或更高版本的控制器,并且基于Prior的检测方法。
*使用启用了反弹修正的ProScanTM控制器,所有重复性均为单向。
** S.P.R:电机每旋转一圈的全步长。

  • 适用于大多数主流品牌显微镜。
  • 1μm甚至更高的重复精度
  • 安静、可靠
  • 多种样品架
  • 可选的100nm线性标尺可提供最高的精度