Neuer direkt angetriebener, hochbelastbarer Piezo-Nanopositioniertisch für Messtechnik und Präzisionsfertigung
26.02.26
Queensgate Instruments hat sein Angebot an leistungsstarken Piezo-Nanopositioniertischen um einen direkt angetriebenen, hochbelastbaren Tisch erweitert. Der NPS-X-60D kann Lasten von bis zu 10 kg mit hoher Geschwindigkeit bewegen.
Der Tisch ist mit einem Verfahrweg von 60 µm oder 100 µm erhältlich und kann für den Einsatz im horizontalen (X) oder vertikalen (Z) Verfahrweg kalibriert werden. Beide Konfigurationen bieten die für Präzisionsfertigungsanwendungen erforderliche Auflösung im Sub-Nanometerbereich.
Der Tisch erreicht seine hochpräzisen Bewegungen durch die Kombination von Flexure-Führungen und kapazitiven Sensoren, wie Craig Goodman, Produktmanager bei Queensgate, erklärt:
„Das System verfügt über eine flexurgeführte Bewegung, die Rotationsfehler praktisch eliminiert. Die kapazitiven Sensoren messen direkt die Bewegung der Plattform, was in Kombination mit der nahezu unendlichen Auflösung der Piezoaktoren und unserer rauscharmen Steuerelektronik eine Positionierung mit höchster Präzision gewährleistet.“
Nutzer können Kalibrierungsparameter entsprechend ihrer Anwendung und Nutzlast auswählen, um schnelle Schritt-Ausgleichszeiten zu erzielen. Ein Schritt von 1 µm dauert weniger als 8 ms bei einer Nutzlast von 6 kg.
Entwickelt für anspruchsvolle, hochpräzise industrielle Anwendungen. Typische Einsatzgebiete sind:
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Positionierung optischer Baugruppen bei der Halbleiterinspektion
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Positionierung von Mikroskop-Objektivreihen
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Präzisionsfertigung
