Präzisere Waferpositionierung von Queensgate

13.05.26

Der neue Piezo-Nanopositioniertisch WP120B mit Z-Achse und Tip-and-Tilt-Funktion für 300-mm-Wafer (12") bietet minimale Achsenfehler und sorgt so für gleichbleibende Fokus- und Messgenauigkeit. 

Queensgate hat sein neuestes Piezo-Nanopositioniergerät vorgestellt: den flachen Tip-and-Tilt-Piezo-Tisch WP120B mit Z-Achse. Das Gerät wurde als Antwort auf Kundenanforderungen nach minimierten Roll- und Pitch-Fehlern bei Piezo-Nanopositioniertischen für Wafer entwickelt. 

Der WP120B verfügt über parallelkinematische 3-Punkt-Aktuatoren mit hoher Steifigkeit, Flexurführung, eine Closed-Loop-Regelung mit hoher Bandbreite sowie kapazitive Wegsensoren mit Sub-Nanometer-Auflösung an mehreren Punkten, die die Bewegung der Plattform direkt messen. Dadurch konnten die Off-Axis-Fehler um das ~15-fache von ~20 μrad auf 2 μrad reduziert werden, ohne dass es zu Geschwindigkeitseinbußen über den gesamten 120-μm-Z-Verfahrbereich des Tisches kommt. 

Die Ebenheit gewährleistet einen gleichmäßigen Fokus und erhöhtes Vertrauen in die Meßgenauigkeit über eine große Fläche, was das System ideal für die Inspektion von 300 mm-Wafern macht. Es ist mit einer Adapterplatte für den Hochleistungs-XY-Positioniertisch H112 von Prior Scientific erhältlich, die hochpräzise X- und Y-Achsenbewegungen mit einem Verfahrbereich von 300 mm ermöglicht. 

Der WP120B eignet sich für Anwendungen mit hohem Durchsatz, bei denen Geschwindigkeit und Genauigkeit der Z-Achse entscheidend sind: Mit den digitalen Closed-Loop-Reglern von Queensgate beträgt seine Schritt-Einstellzeit nur 14 ms für einen 1-μm-Schritt unter einer Last von 8 kg. Typische Anwendungen sind: 

• Waferinspektion und Fehlererkennung 
• Chipverifizierung 
• Oberflächenstrukturierung 
• Interferometrie und Messtechnik 

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