„Höchste Positioniergenauigkeit“: Queensgate bringt neuen Hochleistungs-Piezotisch auf den Markt

04.06.25

Queensgate Instruments hat sein Angebot an leistungsstarken Piezotischen für die Nanopositionierung um einen hebelverstärkten Schwerlasttisch erweitert, der Lasten von bis zu 6 kg bewegen kann.

Der Nanopositioniertisch hat einen Verfahrweg von 250 µm und ist in zwei Konfigurationen erhältlich: als QGNPS-X-250B für horizontale Verfahrwege und als QGNPS-Z-250B für vertikale Verfahrwege. Beide Konfigurationen bieten die für Präzisionsfertigungsanwendungen erforderliche Auflösung im Sub-Nanometerbereich.   

Die Stage erreicht ihre hochpräzisen Bewegungen durch die Kombination von Flexurführung und kapazitiven Sensoren, wie Queensgate-Produktmanager Craig Goodman erklärt: 

„Das System verfügt über eine flexurgeführte Bewegung, die Rotationsfehler praktisch eliminiert. Die kapazitiven Sensoren messen direkt die Bewegung der Plattform, was in Kombination mit der nahezu unbegrenzten Auflösung der Piezoaktoren und unserer geräuscharmen Steuerelektronik eine Positionierung mit höchster Präzision gewährleistet.“ 

Benutzer können Kalibrierungsparameter entsprechend ihrer Anwendung und Nutzlast auswählen, um schnelle Schritt-Einstellzeiten zu erzielen. 18 ms für einen 2-µm-Schritt bei maximaler Belastbarkeit.  

Entwickelt für anspruchsvolle, hochpräzise industrielle Anwendungen, typische Einsatzbereiche sind: 

• Positionierung optischer Objektivrevolver 
• Weißlicht-Oberflächenmesstechnik 
• Halbleiterinspektion 
• Präzisionsfertigung 

Weitere Informationen und das Datenblatt finden Sie unter nanopositioning.com.