PF850自动对焦系统实现碳化硅晶圆的快速扫描

07.07.20

2019年5月，Prior Scientific发布了PureFocus 850，这是一款多功能硬件自动对焦系统，能够适应各种成像技术。2020年，众多PureFocus 850自动对焦系统在该领域投入使用，从而提高了从生物研究到工业组件扫描等领域的生产力。

PureFocus 850自动对焦系统：晶圆检测的优点

PureFocus 850在晶圆检测方面效果显著，并已成功用于缺陷选择蚀刻分析。PureFocus 850为意法半导体（跨国电子及半导体制造商）解决了与传统自动对焦系统相关的一些难题，并减少了每个样本的扫描时间。意法半导体公司在其瑞典制造工厂使用PureFocus 850，并配合自动图像识别软件分析碳化硅晶圆的质量。

通过缺陷选择性蚀刻分析晶圆质量时，会在碳化硅晶圆表面产生蚀刻坑，这些凹坑的形态、数量和分布可以表明样本中有潜在缺陷的类型及位置。传统的激光自动对焦系统分析从视场中心反射的信号，以计算最佳对焦位置。但是，如果样品表面不平，则图像的外围区域仍可能无法对焦。

提供给意法半导体的 PureFocus 850经过校准，可分析从整个视野反射的信号，从而在整个自动对焦晶圆扫描过程中保持对焦。

图像分析需要在聚焦凹坑底部以分析其形态时进行，意味着所研究的成像平面不同于碳化硅晶圆的主反射面。PureFocus 850电动光学器件可实现该操作，实现成像面以晶圆表面的为基准的偏移补偿。

意法半导体还希望同时生成亮场和暗场图像，以辅助其图像分析。直观的PureFocus 850用户界面使意法半导体能够根据照明强度来优化每种成像技术的自动对焦设置，而不必在两者之间寻找折衷方案。

PureFocus 850自动对焦：用户体验

使用PureFocus 850的工程师认为，这是一个高效的自动对焦系统，极大地提高了样本分析的通量。

意法半导体开发工程师，ErikSürman表示：”我用它来进行所有日常检测。检测时间从45分钟缩短到到了7分钟。

Prior与瑞典先进的分析仪器供应商，BergmanLabora AB合作，为意法半导体提供自动对焦解决方案。

“对于缺乏硬件自动对焦的显微镜来说，PF850是非常有效的补充”产品专家Marie Andersson说，他是首批参加Prior PureFocus 850培训的人员之一。

“为客户节省时间，这一点很有优势。安装及维护PF850轻松便捷，Prior有详细的培训及专业的技术支持。PF850真的是一款很棒的产品！”

此后，BergmanLabora AB也开始向其他地区的用户介绍并演示PureFocus 850自动对焦系统。

总结：

PureFocus 850的研究范围远不止于碳化硅自动对焦的晶圆分析，更高的时间效率及高质量的图像，使得PureFocus 850成为面向未来的自动对焦系统。PureFocus 850能够显著提高大量应用中的通量，作为通用多功能图像分析硬件，有望在整个行业实现普及。