用于电子工业材料检测的准确&精确显微镜载物台

06.10.16

H112完全兼容多种显微镜，可轻松容纳直径达12英寸（300 mm）的晶圆，或重量高达25kg的样品，并可与许多晶圆装载机械臂机配合使用。此外，大范围的（250 x 250毫米）透射光区域可执行透射和反射光应用。

H112载物台的大面积扫描功能非常精确，最小步长为0.04微米，重复精度为+/- 0.7微米。Prior专利的智能扫描技术（IST）赋予了H112载物台无与伦比的精确度。通过添加100nm编码器，可以进一步提高精度，以便用于要求极高精度的具有挑战性的应用。

Prior Scientific的显微镜载物台在高质量和高重复性方面享有全球声誉。它们均由最高品质的部件制造 – 精密轴承、零反弹循环滚珠丝杠、X和Y限位开关、两个高精度步进电机以及坚固的耐刮擦涂层 – 可长时间无故障运行。