Queensgate 带来更平整、更精准的晶圆定位

13.05.26

全新纤薄WP120B Z轴俯仰压电定位平台专为 300 毫米（12 英寸）晶圆量身打造，离轴误差极致微小，保障对焦效果与测量精度全程稳定一致。

Queensgate 推出了其最新的压电纳米定位平台——纤薄WP120B Z轴俯仰平台。该产品旨在响应客户对提升晶圆压电纳米定位台滚转和俯仰误差性能的需求。

WP120B 配备平行运动三点式高刚度促动器、柔性导轨、高带宽闭环控制系统，同时配置多点亚纳米级分辨率电容位移传感器，可对运动平台进行直接检测。产品将离轴误差由约 20 微弧度降至 2 微弧度，性能提升约 15 倍；且在 120 微米全 Z 轴行程内，运动速度无任何衰减。

其平整度确保了大面积区域内焦点的稳定性，并提高了测量精度的可靠性，使其成为检测 300 mm 晶圆的理想选择。该平台可搭配 Prior Scientific 的 H112 重型工业平台转接板，实现 300 mm 行程范围内的高精度 X 轴和 Y 轴运动。

WP120B 适配对 Z 轴运动速度与定位精度要求严苛的高产能工况；搭配昆士盖特数字闭环控制器，8 千克负载下，1 微米步进的稳定时间低至 14 毫秒。典型应用场景：

•    晶圆检测与缺陷检测
•    芯片验证
•    表面结构化
•    干涉测量与计量学