用于电子工业材料检测的准确&精确显微镜载物台

H112完全兼容多种显微镜,可轻松容纳直径达12英寸(300 mm)的晶圆,或重量高达25kg的样品,并可与许多晶圆装载机械臂机配合使用。此外,大范围的(250 x 250毫米)透射光区域可执行透射和反射光应用。

H112载物台的大面积扫描功能非常精确,最小步长为0.04微米,重复精度为+/- 0.7微米。Prior专利的智能扫描技术(IST)赋予了H112载物台无与伦比的精确度。通过添加100nm编码器,可以进一步提高精度,以便用于要求极高精度的具有挑战性的应用。

Prior Scientific的显微镜载物台在高质量和高重复性方面享有全球声誉。它们均由最高品质的部件制造 – 精密轴承、零反弹循环滚珠丝杠、X和Y限位开关、两个高精度步进电机以及坚固的耐刮擦涂层 – 可长时间无故障运行。