纳米定位平台

纳米定位平台

闭环压电作动平台。数据表中列出了标准载物台材质,可选择替代材质,包括超因瓦合金、不锈钢、钛和铝。可选项包括真空、辐射、高温兼容性。亦可根据要求定制设计。

Queensgate的纳米定位平台包括单轴和多轴配置的线性或倾斜/旋转规格,利用高性能压电作动结合Queensgates著名的电容位置反馈,提供完整的高性能闭环系统。当与闭环数字控制器联用时,可实现完全即插即用的可互换性。

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