纳米定位传感器

纳米定位传感器

纳米传感器是一种基于电容测微原理的非接触式位置测量系统,灵敏度极高。其能够分辨皮米,分辨率范围可达1.25mm。平行板电容器由两块传感器板(目标和探针)构成。

Queensgate生产各种类型的纳米定位传感器:
NX系列,全金属结构,一般为铝或超因瓦合金材质。亦可提供其他材质以满足客户的具体需求,详情请咨询Queensgate。

这些传感器可使用Queensgate最先进的模拟单通道控制器驱动。

如有需要,可以生产定制的多通道系统以及定制的传感头设计。Queensgate已经为晶圆步进和国际空间站中的应用制造了众多成功的定制系统。我们非常愿意与您探讨您的具体要求。

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