正置工业显微镜

典型应用:卡盘/晶圆检验

核心系统
可选配件
 

高精度200mm晶圆检验系统配备Prior Proscan®(H116)电动XY载物台,真空晶圆卡盘(HWC20V)和激光自动对焦系统(LF210),可在整个扫描过程中保持精确的对焦。搭载的Brightfield LED可提供高质量的照明。